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本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

　   本网讯  自3月28日正式通航以来，金安机场已引入各类通航企业10家，包括行业头部企业亿航智能、零重力科技等。截至10月底，金安机场通航飞行总架次2388架次，训练时长321.5小时。

　　金安机场依托区位优势，着力打造集研发测试、适航认证、场景应用于一体的低空经济综合体。其中，亿航智能EH216-S机型已获得中国民用航空局(CAAC)颁发的全球首张无人驾驶载人电动垂直起降(eVTOL)航空器型号合格证(TC)、生产许可证(PC)和标准适航证(AC)。其全冗余安全设计、智能导航系统及模块化舱体结构代表当前城市空中交通领域的顶尖水平。在金安机场开展的飞行测试，将进一步完善EH216-S机型的运行标准与应急处置机制。同步进驻的零重力科技“ZG-ONE鹊飞”eVTOL机型则展现出垂直起降飞行器的创新潜力。该机型采用顶置十二轴十二桨及100%纯电驱动，可在大幅降低飞行噪音的同时保障稳定性和抗风性，安全性能卓著。“ZG-ONE鹊飞”有自动驾驶功能，可根据规划航线自主飞行，兼具直升机垂直起降灵活性与智能飞行巡航效率，特别适合短途交通接驳任务。

　　金安经济开发区相关负责人表示，依托金安机场配套的智能制造基地，通过建立开放共享的测试场景，将进一步吸引上下游配套企业集聚金安。(石　悦)

　　洞头网讯(记者 庄缘 王从华)6月20日上午，市人大常委会副主任陈永光带队来我区开展文明城市建设督查，并为北岙街道、元觉街道颁发“最优镇街”流动红旗。区人大常委会主任刘素婷陪同。

　　据介绍，在2023年温州市文明城市创建第二轮实地测评情况中，北岙街道在市建成区内排名第二，元觉街道在市建成区外排名第二。本轮测评采取“明察+暗访”的形式，抽选市区内42个街镇中的部分街镇同步开展，并对测评成绩排名靠前的镇街予以通报表扬。

　　颁旗仪式上，陈永光表示，获得流动红旗的单位要珍惜荣誉、再接再厉，继续凝结强大的力量，以背水一战的决心、务实过硬的作风、决战决胜的状态，坚决打赢文明城市建设这场硬仗。

　　随后，陈永光一行来到我区腾飞路、广场路及新城农贸市场检查，发现整体环境卫生状况较好，市场秩序井然，同时对水产区地面排水设施管理提出了指导性建议。

　　座谈会上，陈永光指出，文明城市建设既是开卷考，也是竞赛考，又是淘汰考，要持续推进常态化整改，下足绣花功夫；要突出亚运会主题，组织开展相关活动，创新谋划特色亮点，营造文明城市建设浓厚氛围；要同心同向同目标，共同打好这场“迎亚运、享盛会、游温州”的文明建设大会战，交上一份城市文明精彩蝶变的满意答卷。

安佳玻璃容器公司（安佳玻璃）宣布已成功完成其此前宣布的全面资本重组，这标志着其持续转型过程中的一个重要里程碑，并为该业务的长期增长奠定了基础。

在新的多数股东——Canyon Capital Advisors、Millstreet Capital和瑞银（UBS）的支持下，这笔交易将公司债务减少了60%以上，并提供了1亿美元的新资本，以加速Anchor Glass的战略增长和现代化进程，为其客户、员工、社区、供应商和投资者创造更高价值。

“这一变革性时刻标志着Anchor Glass新时代的开始，”总裁兼首席执行官尼佩什?H?沙阿表示。“我们显著改善了资产负债表，获得了大量新资本，现在已准备好对我们的资产、员工和客户进行持续投资。这一基础使我们能更好地以‘一个Anchor’的姿态开展业务——提升安全性、提供完美的客户体验，并打造降低工业成本的能力。随着我们进入下一增长阶段，我们的团队期待着利用迄今为止取得的巨大进步。”

这笔新资金将战略性地用于该公司美国网络中的熔炉重建和产能扩张，使Anchor Glass能够更好地服务于食品、饮料、烈酒、即饮饮品和精酿啤酒终端市场的客户，这些市场依赖于可持续、高质量的玻璃包装。

到2030年，Anchor Glass预计将在资本改进方面投资超过10亿美元，这凸显了其对增长、创新以及为客户提供供应安全的长期承诺。

小玻编译

　　市场监管总局12日发布数据，今年上半年，全国新设经营主体1327.8万户。其中，新设企业462万户，新设个体工商户862.9万户，新设农民专业合作社2.9万户，多种经营主体均呈现稳定增长势头。

　　民营和外资企业发展势头良好。上半年，新设民营企业434.6万户，同比增长4.6%；新设外资企业3.3万户，同比增长4.1%。多种所有制企业发展态势良好，显示市场预期持续改善，企业投资信心有效提升，中国始终是全球投资的热土。

　　产业结构进一步优化。上半年，第一产业新设经营主体60.1万户、第二产业新设96.5万户、第三产业新设1171.2万户。截至6月底，全国登记在册“四新”（新技术、新产业、新业态、新模式）经济企业2536.1万户，同比增长6.6%，占企业总量的40.2%。

　　消费领域文化产业亮点突出。随着“哪吒”“悟空”等国产IP火爆全球，文化产业成为上半年消费增长亮点，新设“文化、体育和娱乐业”企业增速高达17.5%。

　　据介绍，市场监管部门将聚焦经营主体发展需求，持续完善市场准入退出制度，纵深推进全国统一大市场建设，着力维护公平竞争的市场环境，持续优化涉企政务服务，进一步激发各类经营主体发展活力。（记者 赵文君）

大咖论道，

解锁功能性乳品新蓝图！

论坛现场星光熠熠，乳小鲜乳业李录伟董事长发表致辞，背靠三剑客30年乳业老品牌的深厚底蕴，有董事长掌舵领航，三剑客自带王.牌光环！核心硬核单品--三剑客系列黑酸奶，用料扎实、品质能打，妥妥的市场爆款；开年政策红利再加码，从物料支持到运营帮扶，全方.位为合作伙伴铺路，靠谱品牌+硬核产品+给力政策，闭眼冲不踩坑！

此外，行业专家陈树兴老师带来《合理优选食品，享受健康生活》的主题分享，从消费趋势、技术创新、市场机遇等多维度，为在场嘉宾剖析了功能性乳品的发展前景，让现场经销商们对行业未来有了更清晰的认知，也更加坚定了与乳小鲜乳业携手前行的信心。

荣耀加冕，

实力见证品牌硬实力！

一场盛会，不仅是思想的碰撞，更是对优.秀者的致敬。论坛期间，公司还颁布了新品推广奖、z佳潜力奖、销量贡献奖、优.秀新客户等奖项，以此表彰在市场一.线奋勇拼搏的经销商伙伴。

每一份荣誉的背后，都是经销商与乳小鲜乳业并肩作战的默契，更是市场对公司产品实力的高度认可。这份认可，既源于公司对产品品质的极.致追求，也来自品牌对经销商的全.方位赋能与支持。

经销商心声：

跟着乳小鲜乳业，挣钱有底气！

论坛现场，多位与乳小鲜乳业深度合作的经销商伙伴分享了自己的合作故事，字里行间满是对品牌的信赖与认可。

来自许昌的朱桂霞直言：“乳小鲜乳业的售后和赋能都做得特别好，跟着这样的公司干准没错！” 六年深耕食品行业，专注终端与批发的河南漯河经销商，对公司的产品赞不绝口，认为品牌产品性价比高，市场接受度强。

而来自焦作市的史文超，更是乳小鲜乳业的 “忠实粉丝”-合作5年，商超、流通、校园全渠道布局，主推的三剑客黑酸奶和中老年奶常年畅销。“黑酸奶真的太亮眼了，融合了酸奶的营养和黑谷物的精华，健康美味还亲民，开创了酸奶新系列！” 史文超兴奋地说，这款产品在连锁系统已经成为畅销品牌，口感好、有特色，市场反馈特别好，跟着三剑客不仅能卖得好，还能挣大钱！

从终端连锁到区域批发，从商超渠道到校园市场，乳小鲜乳业的产品凭借过硬的品质、创新的理念和亲民的价格，征服了不同渠道的经销商，也赢得了广大消费者的喜爱。

新品重磅登场，

精准锁定消费新需求！

本次会议公司还推出了新品三剑客优酪乳、三剑客中老年五红牛奶两款全新功能性乳品，瞬间点燃全场经销商的热情。

三剑客中老年五红牛奶：银发群体的 “养生刚需款”融合红豆、红枣、红藜麦等 5 种红色食材，既贴合传统 “红养” 理念，又标注 “无蔗糖” 适配中老年健康需求；国潮风礼盒包装直接打通节日送礼场景，刚亮相就被经销商追问订货细节。

三剑客优酪乳：年轻人的“轻负担快乐水”以生牛乳为奶源，每盒含9.6g优质蛋白，兼顾营养与口感；包装采用清新撞色设计，精准适配年轻群体审美，更打出“多吃不胖”的卖点，完美契合当代人“健康轻补给”的日常需求。

匠心坚守，

共赴功能性乳品新征程！

一直以来，公司始终秉持 “匠心鲜养” 的理念，深耕功能性乳品领域，将营养与健康融入每一款产品。无论是开创酸奶新系列的黑酸奶，还是备受中老年群体青睐的专属牛奶，都彰显了品牌的创新实力与人文关怀。

此次创新论坛的成功举办，不仅为行业搭建了交流平台，更凝聚了经销商伙伴的向心力。未来，公司将继续以品质为根基，以创新为动力，为经销商提供更优质的产品、更全面的支持，与所有合作伙伴同心共酿，在功能性乳品的蓝海中乘风破浪，再创辉煌！

祝乳小鲜乳业有限公司越做越好，祝所有经销商伙伴大卖大赚！也期待更多有志之士加入乳小鲜乳业大家庭，携手共赢，共赴财富新征程！

本质上，AI 重新定义了“优秀”基础设施的标准。相应地，平台设计的重心也从注重单一的芯片或服务器，转向了打造机架级、可扩展的系统，在功耗和预算有限的前提下，实现高效扩展。而这一转变背后的原因在于，推理与智能体 AI 工作负载持续增长且不间断运行，对高密度、全天候在线的算力需求正快速提升。

Futurum 在《Arm处于 AI 和数据中心变革的中心》报告中，把这一转变称为迈向“系统级协同”。设计的关键不再是堆多少算力，而是平台能不能有效地把加速器、CPU、内存、网络和软件协同起来。

正因如此，业界正加速迈向定制化机架级系统设计：即围绕 AI 负载特性、功耗波动和持续利用率来进行端到端设计的平台。越来越多的架构师开始重新思考计算底层设计，选择基于 Arm 架构来解决现代 AI 平台面临的多重约束。

AI 促使行业重构：转向定制化机架级系统

这一转变的核心原因，并非通用型标准化基础设施无法承载 AI，而是碎片化的系统设计，在 AI 规模化部署时，终将转化为真实可感的成本代价。

AI 工作负载在计算、内存、网络、存储及软件各环节紧密耦合。CPU 拖后腿，昂贵的加速器就会空等；功耗和散热波动，利用率就会下滑；数据管道、调度、编排未能针对平台调优，吞吐量就不可预测。峰值性能依然重要，但稳定性、每瓦性能和系统整体平衡性更关键。

Futurum 指出，超大规模云服务提供商正进行结构性调整，旨在实现算力的指数级增长，同时避免能耗的同步激增。Futurum 引用 Arm 的数据指出，到 2025 年末，出货到头部超大规模云服务提供商的算力中，有近 50% 是基于 Arm 架构。

架构师现在不再只看纸面跑分，而是更关心 AI 平台在实际应用中能否长期可靠地运行智能体 AI 和连续推理工作负载，比如：

长时间高负载下，系统表现如何？

在实际环境中，功耗限制和散热条件如何影响性能曲线？

在机架级系统中，计算层如何确保加速器能持续获得稳定的数据供给，而非仅停留在纸面参数上？

当能效、可扩展性与系统平衡性成为首要原则时，重新审视 CPU 底层架构就成了必然。也正因为此，Arm 凭借领先的架构和完善的生态，正是这场行业变革的核心所在。

在数据中心领域，Arm Neoverse 平台是推动这一转型的核心引擎。亚马逊云科技、Google、微软、NVIDIA 等头部超大规模云服务提供商与 AI 领军企业，都在基于 Arm 架构或采用 Arm 计算平台进行产品研发。Arm 的模式既能支持定制化系统设计，又能保持跨平台、跨生态、跨软件的一致性。对于想要构建高集成度平台、又不愿被单一技术路径绑定的团队而言，这种灵活性至关重要。

智能体 AI 与持续推理，

重塑规模化算力的经济逻辑

随着 AI 与通用计算工作负载的融合，AI 工作负载正在发生变化，基础设施也需随之调整，以支持多样化的工作负载特性。

行业重心正在转向智能体 AI，而智能体 AI 本质上就是一个连续推理系统。智能体并不是简单地给出一个答案， 而是会规划、调用工具、检索数据、验证结果，如此循环往复。由此便形成了连续推理模式：稳定不间断的词元 (token) 生成任务，请求类型趋于多元化，围绕加速器的编排和数据迁移任务变得更繁重。

在智能体 AI 里，CPU 不再是配角， 而是整个 AI 系统的控制中枢。CPU 负责协调控制、调度任务、管理 IO、处理网络与存储服务、执行安全策略，并在模型、上下文及工具链不断演进的过程中，维持整个系统的平衡。

以承载大语言模型 (LLM) 的服务为例，它可能同时处理成百上千的并发请求。就算加速器负责核心计算，CPU 也要承担请求权限控制、分词和预处理、批处理和队列调度、数据迁移编排，以及针对模型权重与 KV 缓存的数据路径协调等。到了智能体工作流，CPU 的工作负担进一步扩展，还要承担工具调用、检索流程、结构化输出验证、多步调度等持续运行的任务。

这一切都表明，CPU的重要性远超许多团队的预期。如果 CPU 跟不上编排节奏，数据迁移、处理流程和加速器都会被“卡住”，面临结构性的闲置风险。

融合型 AI 数据中心的建设，彰显了 Arm 架构的强劲势头

Arm 的发展势头正在加快。在业内领先的集成式 AI 系统中，基于 Neoverse 平台的 CPU 被广泛用于智能体推理密集型系统的编排层，尤其适合追求高能效、可预测扩展能力和大规模部署的应用场景。

独立测试也印证了现代 CPU 基础平台在“AI 相关”工作负载中的价值。Futurum 旗下 Signal65 的独立基准测试对比了基于 Arm Neoverse 平台的 Amazon Graviton4 与同级的 AMD和 IntelEC2 实例，结果显示：在生成式 AI (Llama-3.1-8B)、数据库 (Redis)、机器学习(XGBoost)、网络 (Nginx) 等测试的各种工作负载中，基于 Neoverse 平台的 Graviton4 在性能和性价比方面大幅领先。

测试结果直接反映了智能体 AI 数据中心的现状：LLM、检索层、缓存、Web/API、传统机器学习等全都处于智能体系统的关键路径上，只有当 CPU 兼具速度与能效时，整体才能更好地扩展。

最新的机架级 AI 系统在架构设计上，均采用定制化加速器层以及基于 Arm 架构的 CPU 层的组合，由后者承担调度编排、数据迁移与智能体推理预处理等关键任务。NVIDIA Grace Hopper、Grace Blackwell 等系列产品，将 NVIDIA GPU与基于 Neoverse 架构的 Grace CPU 深度融合。而其最新机架级平台 Vera Rubin NVL72，更是在系统内集成 72 颗 Rubin GPU 与 36 颗基于 Arm 架构的 Vera CPU，专为交互式、深度推理型智能体 AI 优化，显著降低推理成本。

亚马逊云科技也在走同样的系统级路线：Amazon Trainium3 UltraServer 把 Trainium3 加速器芯片与 Graviton CPU 结合，强化了“融合型”设计理念：将加速器与定制的高性能、高能效 CPU 相匹配，以实现高效扩展。

“提供更优选择”不再是偏好，而是硬性要求

AI 系统迭代太快，固定架构已无法适配其发展节奏，因此为客户提供更优选择已成为风险管理的必要举措。

系统架构师想要的是：

平台能适应不同代的硬件、多样的工作负载配置及各异的部署环境；

软件可移植，以降低系统变更成本。

与此同时，系统架构师希望避免因过度依赖单一厂商，而导致在模型组合变化、业务规模扩张或新需求出现时陷入被动。在智能体时代尤其如此：推理形态不断变化，上下文更长、工具调用更多、多模态输入更频繁、全天候工作负载更普遍，效率和平衡远比峰值跑分重要。

Arm 架构在提升系统性能的同时，保持跨平台一致性。Arm 架构不仅引入了现代 AI 基础设施所需的关键特性，而且拥有强大的软件生态支持。Arm 计算子系统 (CSS) 提供经过验证的基础设施级模块，既加速了芯片开发，又保留了合作伙伴间的差异化与选择权。对于所有基于 Arm 架构的平台，一致性贯穿始终，云工作负载迁移至 Arm 平台也极为便捷。同时，在软件层面，Arm 生态助力团队在不同环境与平台间拥有一致连贯的基础，从而加速开发进程，无需重写所有代码。

智能体 AI 经济重塑 CPU 选择格局，Arm Neoverse 平台成头部厂商首选

系统架构师之所以倾向于 Arm 平台，因为它精准匹配定制AI 系统的核心需求：能效、可扩展性及每瓦性能。能效重要，因为功耗和预算是硬上限；系统平衡和 CPU 性能重要，因为加速器闲置成本极高；一致性重要，因为 AI 基础设施变化快、跨环境部署日益增多。

在融合型智能体 AI 数据中心里，面对持续推理的应用需求，上述优先事项变成了上线即需满足的硬性指标。智能体系统不只需要能生成词元的加速器，更需要以 CPU 为核心的编排能力，在网络、存储、调度、安全层面，持续、高效、大规模地把资源利用起来。

Arm 如今的强劲增长正源于此：Neoverse 正成为智能体时代的 CPU 基础平台，作为计算头节点，是让 AI 系统保持高效、一致并面向未来的核心控制中枢。

IGN公布了一段时间《噬神者3》最新的实机演示视频，演示中展示的是一段四人组团进行的多人模式，玩家们纷纷拿起武器与巨兽Anubis展开战斗，IGN称赞Anubis真的是个猛兽，太难打了，到底这个组团战斗情况如何呢？我们快去演示中一见分晓吧！

《噬神者3》是由Shift制作并由万代南梦宫发行的一款末世启示录风格的动作游戏，也是《噬神者》系列最新作品。游戏讲述了公元2078年，人类沿着衰落的道路继续前进，并发布了一场大规模的战争，主角作为一名新的噬神者，将和自己的伙伴在限制区域内投入战斗的故事。